光学元件系列(三):增透膜
发布时间:2020-07-10 00:00:00 阅读次数:494

 

搭建光学系统时,杂散光的存在对实验造成影响。 杂散光的来源多种多样,光学元件表面的反射是其中的一种。 增透膜(减反射膜)的功能是减少光学元件表面的反射光,从而增加光学元件的透过率,以减少系统的杂散光。

增透膜定性解释

能量守恒定理: 能量既不会凭空产生,也不会凭空消失,它只会从一种形式转化为另一种形式,或者从一个物体转移到其它物体,而能量的总量保持不变。

光束入射到增透膜时,在膜层表面发生反射,穿过膜层后在基底表面再次发生反射,而后经膜层表面折射出射。 当两次反射光的光程差为半波长的奇数倍时,两束光干涉相消,合振幅最小,从而减少了反射。 当一束光携带能量E0入射到镀有增透膜的光学元件表面, 在光学元件表面会发生能量转换,反射光总能量为ER,透射光总能量为ET,不考虑吸收、散射等因素,按照能量守恒定理,则有E0=ER+ET,控制膜层参数使得整体ER减少,则ET增加,表征现象即为反射率降低,透射率增加。

增透膜定量分析

 

反射率、透射率

图1.S波,P波的折反射示意图

光波可以分为S波(垂直入射面)和P波(平行入射面), 其反射和折射的振幅不同,根据菲涅尔公式,可以得到S光、P光反射率及透射率公式如下:

由上述公式可得:

θ表示入射角度,当θ12=0°时,表示正入射,有:

根据菲涅尔公式,光从空气中入射到基底,当n1=1,n2=1.5时,可以得到如图2所示的反射率与入射角度的关系曲线。 在没有镀增透膜且正入射的情况下,RS、RP为4%左右,随着入射角度增大,RS、RP会有差异,当θ角度为56.3°时RP几乎为0,表示P光全部折射,只有S光有反射,该角度定义为布儒斯特角。

图2.S光、P光反射率、透过率 vs 入射角度

在正入射且相同波长的条件下,不同基底材料折射率不同,对应表面反射率也有差异,如图3所示。

图3.反射率 vs 基片(从空气中入射,n1=1)

在正入射且未镀增透膜的条件下,几种常见基底材质在不同波长处对应的反射率如图4所示。

图4.不同基底材质表面反射率 vs 波长

 

镀单层增透膜

 

图5.光在增透膜层中反射与折射示意图

如图5所示,光束从空气入射到镀有增透膜的基底,空气折射率为n1,在折射率为n2的基底上镀上折射率为n的薄膜,厚度为h,考虑小角度入射时(正入射), 空气与薄膜表面反射率R1,透射率为1-R1

薄膜与基底的表面反射率为R2':

R2则是经过两次空气与薄膜折射,一次薄膜与基底反射出射光

R3则是经过一次空气与薄膜反射,两次空气与薄膜的折射,两次薄膜与基底的折射后出射光,

如果n1=1,n=1.37,n2=1.5,则可得R1=2.44%,R2=0.2%,R3=0.00001%,后续反射的光能量将更低,因此主要是R1R2影响整体反射率。 同时,对比未镀增透膜时的表面反射率,可以得出结论: 在空气和基底之间镀上折射率基于两者之间的膜层可以降低表面反射率。

理想情况下如果能实现R1=R2, 且相位相差π,则可以完美消除反射光。

R1=R2,即有:

式中(1-R1)2取近似等于1,则

对于空气n1=1,常规玻璃n2=1.5的典型情况,可得n=1.22,但市面上还找不到这种折射率材料,通常用n=1.37的MgF2作为增透材料. 此时,反射率可降低到1.22%左右。

由R1R2光程差引起的相位差为:

系数2的存在是因为光在膜层中走了膜厚的两倍距离。 R 1 R 2 相位相差 π时,即 R 1 R 2 振幅相反 ,此时膜层厚度为:

其中n为对应波长λ的折射率,膜层厚度与材料折射率及波长相关。

综上,可以得出理想情况下完美消除反射光的膜层参数:

在550 nm波长处,当采用不同增透膜材料(折射率n不同)时,反射率与增透膜光学厚度的关系曲线如图6所示(气折射率n1=1,基底折射率n2=1.5,正入射)。

  • 当n<n2,膜层起增透的作用,且当膜层光学厚度(nh)为λ/4的奇数倍时,R1、R2的相位差δ为π的奇数倍,此时可得到最低的反射率。 膜层折射率n越小,反射率越低。

  • 当n>n2时,膜层起增反的作用,当膜层学厚度λ/4的奇数倍时,反射率最高。 膜层折射率n越大,反射率越高。
  • 膜层光学厚度是λ/4的偶数倍时,不起增透作用。

图6.反射率vs增透膜光学厚度

 

镀双层增透膜

 

常见的V型增透膜(单波长反射率曲线成V型)采用双层膜设计,在设计波长处,反射率最低,当工作波长远离设计波长时,其反射率快速增加,增透效果可能比单层膜时更差。 宽谱W型增透膜为了优化波段范围,采用双层膜设计,第一层与空气接触的膜层 光学厚度为λ/4的奇数倍 ,而第二层与基底接触的膜层 光学厚度 为λ/2的奇数倍。 两者反射率曲线见图7。

图7.宽谱增透膜 vs V型增透膜

 

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