搭建光学系统时,杂散光的存在对实验造成影响。 杂散光的来源多种多样,光学元件表面的反射是其中的一种。 增透膜(减反射膜)的功能是减少光学元件表面的反射光,从而增加光学元件的透过率,以减少系统的杂散光。
能量守恒定理: 能量既不会凭空产生,也不会凭空消失,它只会从一种形式转化为另一种形式,或者从一个物体转移到其它物体,而能量的总量保持不变。
光束入射到增透膜时,在膜层表面发生反射,穿过膜层后在基底表面再次发生反射,而后经膜层表面折射出射。 当两次反射光的光程差为半波长的奇数倍时,两束光干涉相消,合振幅最小,从而减少了反射。 当一束光携带能量E0入射到镀有增透膜的光学元件表面, 在光学元件表面会发生能量转换,反射光总能量为ER,透射光总能量为ET,不考虑吸收、散射等因素,按照能量守恒定理,则有E0=ER+ET,控制膜层参数使得整体ER减少,则ET增加,表征现象即为反射率降低,透射率增加。
增透膜定量分析
反射率、透射率
光波可以分为S波(垂直入射面)和P波(平行入射面), 其反射和折射的振幅不同,根据菲涅尔公式,可以得到S光、P光反射率及透射率公式如下:
θ表示入射角度,当θ1=θ2=0°时,表示正入射,有:
根据菲涅尔公式,光从空气中入射到基底,当n1=1,n2=1.5时,可以得到如图2所示的反射率与入射角度的关系曲线。 在没有镀增透膜且正入射的情况下,RS、RP为4%左右,随着入射角度增大,RS、RP会有差异,当θ角度为56.3°时RP几乎为0,表示P光全部折射,只有S光有反射,该角度定义为布儒斯特角。
图2.S光、P光反射率、透过率 vs 入射角度
图3.反射率 vs 基片(从空气中入射,n1=1)
图4.不同基底材质表面反射率 vs 波长
镀单层增透膜
图5.光在增透膜层中反射与折射示意图
如图5所示,光束从空气入射到镀有增透膜的基底,空气折射率为n1,在折射率为n2的基底上镀上折射率为n的薄膜,厚度为h,考虑小角度入射时(正入射), 空气与薄膜表面反射率R1,透射率为1-R1:
理想情况下如果能实现R1=R2, 且相位相差π,则可以完美消除反射光。
当R1=R2,即有:
对于空气n1=1,常规玻璃n2=1.5的典型情况,可得n=1.22,但市面上还找不到这种折射率材料,通常用n=1.37的MgF2作为增透材料. 此时,反射率可降低到1.22%左右。
由R1、R2光程差引起的相位差为:
综上,可以得出理想情况下完美消除反射光的膜层参数:
在550 nm波长处,当采用不同增透膜材料(折射率n不同)时,反射率与增透膜光学厚度的关系曲线如图6所示(空气折射率n1=1,基底折射率n2=1.5,正入射)。
当n<n2,膜层起增透的作用,且当膜层光学厚度(nh)为λ/4的奇数倍时,R1、R2的相位差δ为π的奇数倍,此时可得到最低的反射率。 膜层折射率n越小,反射率越低。
镀双层增透膜
常见的V型增透膜(单波长反射率曲线成V型)采用双层膜设计,在设计波长处,反射率最低,当工作波长远离设计波长时,其反射率快速增加,增透效果可能比单层膜时更差。 宽谱W型增透膜为了优化波段范围,采用双层膜设计,第一层与空气接触的膜层 光学厚度为λ/4的奇数倍 ,而第二层与基底接触的膜层 光学厚度 为λ/2的奇数倍。 两者反射率曲线见图7。
图7.宽谱增透膜 vs V型增透膜