• 边缘光抑制（PPI）超分辨光刻胶
• 力学强度较强，体积收缩减少
• 具有高效双色光敏性

作为实现高精度边缘光抑制光刻的介质和载体，聚合物杂化双色光敏光刻胶系列扮演着关键的角色，直接决定了光刻的准确性和质量。传统的双色光敏光刻胶存在多个问题，包括力学强度不足、光敏性不够、高体积收缩率以及折射率与光学系统不匹配等。相较之下，聚合物杂化的双色光敏光刻胶体系，其力学强度增强并体积收缩减少。同时，通过优化树脂配方设计和深入研究双色光敏性机制，我们成功获得了具有高效双色光敏性的折射率匹配光刻胶体系，为高精度光刻提供了更可靠的解决方案。