Roban-Drill系列飞秒激光专用切割钻孔系统,系统配置高重频飞秒激光放大器(可选配)以及高速扫描振镜及场镜,同时配置高精度定位位移台。适用于科研院所实验室及企业研发中心进行硬脆材料高速扫描切割、盲孔通孔及群孔加工、材料表面刻槽等应用。欲了解该系统具体定制详情,请联系LBTEK技术支持。
光源
飞秒激光放大器(1030 nm / 515 nm,1-200kHz)
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加工材料
蓝宝石,石英,硅片,碳化硅等
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钻孔孔径
20 μm-20mm
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设备尺寸(L×W×H)
600×500×800 mm
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定位精度
±3 μm
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样品厚度
0.1 mm-3 mm
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最高扫描速度
200 mm/s
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加工文件格式
AeroBasic,支持STL格式转换
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电气要求
AC200-240 V,50/60 Hz,5kW
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产品型号 | 波长 | 当前波长(nm) | 当前透射率(%) |
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