LBTEK提供的伺服直线电机位移台采用直驱的无刷直流线性电机,无机械传动部件,消除了回程间隙,同时可实现高速运动,最大速度可达500 mm/s,加速度可达10000 mm/s。内部集成了绝对式线性光学编码器伺服反馈系统,外部双导轨结构采用了精密的线性直线滚珠导轨,为位移台提供了极佳的线性和刚性,双向重复定位精度可达±0.25μm,绝对定位精度补偿后可达±2μm。位移台集成的绝对式编码器可随时反馈位移台准确位置,重新上电无需回零操作,操作灵活便利。该LMDT系列位移台具备多种行程范围可选,及一定的水平负载能力,是各种高精快速平移应用的理想解决方案。
分辨率
50 nm
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双向重复定位精度
±0.25 μm
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定位精度
±2 μm
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最小可重复运动增量
0.2 μm
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一、使用前请按照指示标签将固定位移台台面的螺丝拆卸,再连接控制器使用。
二、该位移台属于高精密位移台,对安装和使用有一定要求,要求如下,若达不到以上使用要求,位移台的精度会有一定损失。
1.安装面平面度8μm以下;
2.安装M6螺丝时,请使用3 N·m扭矩拧紧;
3.安装的平台要有隔振处理;
4.环境温度波动控制在±1℃以内。
三、第一次上电,位移台初始化异常,表现形式为电机没有自动上使能,可手动移动台面或者位置信息显示异常,请做如下确认:
1.打开上位机ESM-CVx软件,电机右上角齿轮图标,进入设置界面;
2.选择电机参数,输入“ESM-CVx”密码;
3.选择不同轴序号点击读取,查看所连接的位移台型号与位移台序号是否对应,对应关系如下;若对应关系错误,请通过上位机先掉使能然后按正确对应关系修改,修改后点击写入,然后再将控制器重新上电。请注意:务必先将位移台掉使能再去修改参数。
位移台型号 | 位移台序号 |
LMDT-100 | 11 |
LMDT-220 | 21 |
LMDT-300 | 31 |
ESM-RP100 | 41 |
4.若以上还未能解决初始化异常问题,请联系我司技术支持。
四、该系列位移台搭配ESM-CVx控制器可提供定位精度补偿功能,若有需求,具体请咨询我司技术支持。
LBTEK 提供的LMDT系列高精度直线电机位移台,具有100 mm,220 mm,300 mm三种行程选择,采用直线电机直接驱动位移台面进行线性运动,取消了中间机械传动部件,避免了长期使用过程中传动部件磨损,影响位移台运动精度。该系列位移台配备光学闭环反馈系统使得位移台双向重复定位精度可达±0.25 μm,补偿后的轴上定位精度可达±2 μm,同时最大速度可达500 mm/s,非常适合要求高速度和高定位精度的应用,包括自动对准,表面检查、测绘和探测等应用。LMDT系列直线电机位移台需搭配台式无刷伺服控制器进行使用,LBTEK提供ESM-CVx系列控制器可供用户选择。
请注意:不要将磁性元件安装在位移平台上。因为它们会妨碍归位,即使移除磁性元件之后,仍会影响位移台编码器的准确性。断电时,位移台的台面惯性较小,几乎可以自由移动,这可能使位移台不适用于需要断电后保持在设定位置的应用,同时竖直负载较小请谨慎竖直安装使用。
LMDT系列位移台搭配ESM-CVx系列控制器使用
产品型号 | 行程 | 水平负载能力 | 分辨率 | 单价 | 对比 | 发货日期 | |||
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LMDT-100 | 100 mm | 3 kg | 50 nm | ¥17545 | 5周 |
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LMDT-220 | 220 mm | 3 kg | 50 nm | ¥30039 | 当天 |
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LMDT-300 | 300 mm | 10 kg | 50 nm | ¥35711 | 当天 |
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产品型号 | 波长 | 当前波长(nm) | 当前透射率(%) |
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