高精度飞秒激光加工设备(固体材料波导/光纤光栅)FS-DWL-Center(Waveguide/FBG)
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产品说明
  • 公里级直写光纤光栅加工模块
  • 多芯光纤加工模块
  • 光纤端面加工模块
  • 高精度纤芯对准系统
  • 高精度振镜三维扫描系统(光刻胶加工模块)
  • 固体材料加工系统(改性、减材加工模块)
  • 折射率表征模块
  • 跟焦模块
  • 光刻胶加工模块
  • 脚本化语言+3.0 版本用户软件体系:加工软件一套、刻写软件一套

该设备配备了更高功率的飞秒激光器作为光源,单脉冲最大输出能量达10 μJ。激光输出的脉冲序列精确可调,可实现加工空间中任意位置的脉冲计数加工。系统中还配备了具备水冷降温的空间光调制器用于对强激光矫正相差,以适应多种不同折射率材料和不同折射率分布情况的加工需求。同时,空间光调整器还可以用于整形光斑,以实现直写线加工、直写面加工、多交点加工等多样化的工作模式。 该系统对固体材料飞秒加工中的两大难点:光纤光栅加工和透明固体材料波导加工分别作出了针对性优化。对于光纤光栅加工,系统配备了高精度自动对准装置,保证将加工聚焦光斑快速对准纤芯。可适用于单模单芯光纤、多模光纤、单模多芯光纤等多种光纤加工。配合自动卷线机,可以实现公里级光纤加工。对于透明晶体中的波导加工,系统具备针对波导形状的三维加工路线规划能力,可以按任意空间路径进行三维加工。同时,在系统中整合了相衬显微功能,可以在晶体加工完成后就进行材料折射率变化表征,解决了透明材料加工结果难以评估的问题。

通用参数
脉冲能量
≥0.01 mJ@ 1 MHz
平均功率
10 W@ 1 MHz
脉冲宽度
<300 fs
重复频率
1 Hz~1 MHz
加工光束中心波长
517 nm
位移台维度
X、Y、Z、θx、θy、θz
位移台行程(上×宽×高)
100 mm×100 mm×20 mm
平移重复定位精度
±75 nm
旋转重复定位精度
≤0.001 °
适合光纤直径范围
100-250 μm
最大送纤速度
50m/min

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