飞秒激光微纳加工工作站—

产品说明

Roban-Nano系列飞秒激光微纳加工工作站是一个开放式的飞秒激光加工平台，可根据用户需求定制激光加工工艺并配置激光光源、位移台及其他相关硬件。欲了解该系统具体定制详情，请联系LBTEK技术支持。

示意图/演示视频

通用参数

光源飞秒激光放大级（1030nm/515nm/343nm）选配	加工材料半导体材料、透明介质材料、金属、光纤、聚合物等
加工范围(L×W) 25×25 mm 至 500×500 mm（根据需求）	设备尺寸(L×W×H) 800×600×800 mm
XY轴重复定位精度 ±50 nm至±5 μm	Z轴重复定位精度 ±100 nm至 ±5 μm
扫描速度 0.1-200mm/s(根据需求)	加工文件格式 AeroBasic，支持DXF，STL文件转换
电气要求 AC200~240 V，50/60 Hz，5 kW

References

Wang L, Chen Q D, Cao X W, et al. Plasmonic nano-printing: large-area nanoscale energy deposition for efficient surface texturing[J]. Light: Science & Applications, 2017, 6(12): e17112-e17112.
Tian Z N, Hua J G, Yu F, et al. Aplanatic zone plate embedded in sapphire[J]. IEEE Photonics Technology Letters, 2017, 30(6): 509-512.
Zhang Y L, Chen Q D, Xia H, et al. Designable 3D nanofabrication by femtosecond laser direct writing[J]. Nano Today, 2010, 5(5): 435-448.

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