Roban-Waveguide系列飞秒激光波导专用直写系统配置飞秒激光放大器（可选配）以及三维高精度空气轴承位移平台，可将飞秒激光聚焦至透明材料内部直写各类光波导及波导阵列，适用于科研院所进行集成光学、量子光学等方向研究。欲了解该系统具体定制详情，请联系LBTEK技术支持。
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光源
飞秒激光放大器（1030 nm / 515 nm，1-200kHz）
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加工材料
各类硬质透明材料（玻璃、石英、铌酸锂等）
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加工范围(L×W×H)
100×100×60 mm
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设备尺寸(L×W×H)
600×500×800 mm
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XY轴重复定位精度
±50 nm
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Z轴重复定位精度
±100 nm
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最高扫描速度
100 mm/s
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加工文件格式
AeroBasic，支持STL格式转换
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电气要求
AC200-240 V，50/60Hz，5kW
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References
Marshall G D, Politi A, Matthews J C F, et al. Laser written waveguide photonic quantum circuits[J]. Optics Express, 2009, 17(15): 12546-12554.
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Yu F, Wang L C, Chen Y, et al. Polarization independent quantum devices with ultra-low birefringence glass waveguides[J]. Journal of Lightwave Technology, 2021, 39(5): 1451-1457.
Crespi A, Osellame R, Ramponi R, et al. Anderson localization of entangled photons in an integrated quantum walk[J]. Nature Photonics, 2013, 7(4): 322-328.
| 产品型号 | 波长 | 当前波长(nm) | 当前透射率(%) |
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