• 超高精度加工（特征尺寸小于100nm）
• 跨尺度结构制造
• 材料广泛适用
• 机器视觉
• 系统硬件、加工流程及加工参数自动化控制

Roban-GT系列超高精度紫外飞秒激光高速加工系统配置紫外飞秒激光放大器作为加工光源。该系统以高速扫描振镜耦合4f光学系统通过物镜在物镜扫描视场内进行高速高精度加工。同时，该系统利用二维高精度空气轴承直线电机位移平台进行大尺寸连续微纳结构的激光扫描及在全行程内对扫描范围受限的振镜扫描进行耦合，使得激光超精密加工中高速与大范围两个需求同时得以满足。该系统适用于厘米级以上加工范围和纳米级加工精度的跨尺度结构制造。欲了解该系统具体定制详情，请联系LBTEK技术支持。